技术指标：

X射线光管：

管压：5-50kV

管流：0-1mA

靶材：W靶

窗口：铍窗

制冷方式：风冷

工作温度：≤75℃

高压发生器：

输入电压：24V

输入大电流：

管压：0-50kV

管流：0-2mA

灯丝大电压：5V

灯丝大电流：3.

SDD半导体探测器：  

探测器输入电压：±12V，+5V

探头窗口面积：25mm²

探头窗口厚度：0.5mil

分辨率：140±5eV

探头内制冷温度：<-40℃

自动对焦系统：

通用数字激光传感器、CMOS激光传感器

实现样品高度的自动对焦。

MCA多道分析器：

输入电压：±12V，+5V

采样频率：100 KHZ

脉冲幅度：0-7.6V

A/D位数：12位

分析道数：2048道

准直器系统：

准直器：Ø0.1 mm(可根据要求选配)

滤光片：Mo(可根据要求选配)

高清晰摄像头： 

传感器类型：CCD（彩色）

接口：USB2.0

传感器厂商：索尼

快门类型：面阵

光学尺寸：1/4英寸

有效像素：659(H)×494（V）

有效像素尺寸：3.69mm(H)×2.77mm(V)

像素尺寸：5.6μm(H)×5.6μmm(V)：

感应度：0.58V（索尼标准）

颜色排列：RGB

帧率：30fps

快门速度：1/1538-1/30（秒）

RoHS设备检测仪

仪器尺寸：

外观尺寸： 576(W)×495(D)×545(H) mm

样品室尺寸：500(W)×350(D)×140(H) mm ，

特殊测试时，可开盖，对样品长度制

检测开槽口时，厚度10mm以上，宽度和深度没有限制。

样品台尺寸：230(W)×210(D)mm

移动范围：50(X)mm， 50(Y)mm

Z轴升降平台升降范围：0-140mm

X射线膜厚仪能满足各种不同厚度样品以及不规则表面样品的测试需求，φ0.1mm的小孔准直器可以满足微小测试点的需求。移动平台可定位测试点，重复定位精度小于0.005mm。采用高度定位激光，可自动定位测试高度，定位激光确定定位光斑，确保测试点与光斑对齐。鼠标可控制移动平台，鼠标点击的位置就是被测点。高分辨率探头使分析结果更加。良好的射线屏蔽作用，测试口高度敏感性传感器保护。

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